MEMS光刻工艺外协——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,半导体光刻制作制作,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
有了掺杂工艺,就可以制造出PN结、双极型晶体管、场效应晶体管等基本的半导体元器件,也可以用来调节MOS晶体管的阈值电压、改善接触电阻、增强辐射耐受性等。掺杂工艺是半导体工艺中和基础的技术之一,对于半导体器件的设计和制造具有决定性的影响。
半导体工艺中实现掺杂的主要方法有两种,即热扩散和离子注入。热扩散是在高温下(约1000℃)将半导体暴露在一定掺杂元素的气态下,利用化学反应和热运动使杂质原子扩散到半导体表层的过程
离子注入是将杂质原子电离成离子,用高能量的电场加速,然后直接轰击半导体表面,使杂质原子“挤”进到晶体内部的过程
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有三种主要技术被用于在晶圆表面层产生独立层图形。它们是:
1. 在一块石英板上铬层的芯片专门层的图形。依此使用reticle来产生一个携带用以整个晶圆图形的光刻板。
2. Reticle 可以使用步进光刻机,直接用于晶圆表面层的图形。
3. 在图形发生器中的电路层的信息可以直接用于引导电子束或其他源到晶片表面。
这里描述的十步基本图形化工艺在对准和曝光步骤使用光刻板。图形转移是通过两步来完成的。
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在芯片晶圆上,有一些特殊的部分和特定的名称,半导体光刻制作平台,比如:
Wafer:指整张晶圆Chip、Die:是指一小片带有电路的硅片划片道(Scribe line):指Die与Die之间无功能的空隙,可以在这些安全的切割晶圆,而不会损坏到电路测试单元:一些用于表征Wafer工艺性能的测试电路单元,规律分布于Wafer各位置边缘Die(Edge Die):Wafer边缘的一部分电路,上海半导体光刻制作,通常这部分因为工艺一致性或切割损坏,会被损失。这部分损失在大的晶圆片中占比会减少切割面(Flat Zone):被切成一个平面的晶圆的一条边,可以帮助识别晶圆方向
晶圆制备完成后,半导体的画布就形成了。后续半导体工艺由此开始。
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