MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，键合微纳加工定制，以及行业应用技术开发。
飞秒i激光微纳制造技术
飞秒i激光微纳加工制造技术是以微电子，微光学，微机械为核i心的，集现代光学，电子学，材料学，激光技术，精密机械，计算机技术等多门技术于一体的，是飞秒i激光应用技术领域的研究重点。就目前各个大学的研究现状来看，飞秒i激光微纳制造目前已经形成了各自不同的激光与物质相互作用机制，具体包括微爆i炸机制，键合微纳加工多少钱，热熔机制，色心与缺陷机制等等。中国科技大学在飞秒i激光双光子光聚合微细加工研究方面具有代表性。
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MEMS设计表面微加工存在的力学问题
MEMS设计表面微加工指通过沉积多层薄膜和图形制备三维微机结构的一种加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸盐玻璃）， BSG（硼硅酸玻璃）和金属
典型的结构组成包括1.微结构层 2.牺牲层 3.绝缘层部分。在微加工过程中存在三个主要力学问题：
（1）层间黏附
（2）界面应力
（3）静态阻力
层间的黏附在分离材料层中的牺牲层时有所体现，一定程度上影响悬臂梁正常状态，容易发生坍塌
层与层之间材料的热膨胀系数不匹配会引起热应力，键合微纳加工服务价格，过量掺杂也会导致结构在表面微加工之后产生残余应力。
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微纳制造可以应用在什么哪些领域？
微纳制造作为国家新兴产业发展的重大关键技术之一，对国家装备实力和国民经济技术的发展起到重要作用。微纳制造技术的进步，推动着三大前沿科技的发展：生物技术、信息技术、纳米技术。
由于微纳制造技术产品有体积小、集成度高、重量轻、智能化程度高等诸多优点，在信息科学、生物、航空航天等领域广泛的应用。
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