微纳加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
mems传感器的加工尺寸
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，真空镀膜微纳加工平台，意为微机电系统。
mems传感器就是利用mems技术制造的传感器。mems加工通常是由1-100μm的部件组成，微机电设备的尺寸大多是20μm-1mm，也代表mems传感器体积更能适应智能设备的小型化需求，mems传感器的加工尺寸长宽高也都在毫米级别。
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微纳制造和机械自动化哪个前景好
机械组自动化是一项应用计算机和他的外围设备协助工程技术人员来完成产品设计、制造的一项新兴技术，电子束曝光微纳加工平台，随着我国制造业的快速发展，市场呈现出对于机械设计制造以及自动化人才的大量需求，机械自动化在未来有着巨大的发展前景。微纳制造包括微制造和纳制造两个部分，键合微纳加工平台，微制造是一种基于半导体制造工艺的光刻技术，纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术。在航空航天等诸多领域应用十分广泛，浙江微纳加工平台，有着很大的发展潜力。
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mems加工之滤波器
滤波器可以用来抑制噪声，选择和限定微波信号的频段范围，是一种选频元件，也是射频前端的核i心组件，它的作用是将手机发射和接受的无线信号从不同频段中分离出来。传统行业的滤波器体积大，制造成本高并且不容易与单片集成电路集成，而将mems加工技术运用于滤波器的设计制造中就可以达到高i性能，小尺寸，重量轻的效果。
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