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氮化硅材料刻蚀代工 半导体研究所 江西材料刻蚀代工

发布日期 :2023-07-01 10:51发布IP:123.58.44.124编号:12003561
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氮化镓材料刻蚀加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


不钢钢蚀刻加工缝隙可以做的多小是很多在咨询时常问的一个问题,不锈钢蚀刻加工缝隙的大小主要和材料厚度、材质有关,下面来简单了解一下。


不锈钢蚀刻加工前有一个曝光显影的步骤,感应耦合等离子刻蚀材料刻蚀代工,而曝光显影过程中,缝隙大小会有一定的误差,氮化硅材料刻蚀代工,行业内通常蚀刻例如0.1mm厚的不锈钢,可以做到0.15mm的小缝隙,公式大概就是缝隙小是材料厚度的1.5-2倍。所以如果知道蚀刻的不锈钢厚度以后,自己大概就可以估算出不锈钢蚀刻缝隙小尺寸了。





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介电刻蚀应用中通常使用含氟的化学物质。

氮化硅湿法刻蚀:对于钝化层,另外一种受青睐的化合物是氮化硅。可以用液体化学的方法来刻蚀,但是不想其他层那样容易。使用的化学品是热磷酸。因酸液在此温度下会迅速蒸发,所以刻蚀要在一个装有冷却盖的密封回流容器中进行。主要问题是光刻胶层经不起刻蚀剂的温度和高刻蚀速率。因此,需要一层二氧化硅或其他材料来阻挡刻蚀剂。这两个因素已导致对于氮化硅使用干法刻蚀技术。


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减少非均匀性和微负载是刻蚀的重要目标。

湿刻蚀:较普遍、也是设备成本较低的刻蚀方法。其影响被刻蚀物之刻蚀速率(etchingrate)的因素有三:刻蚀液浓度、刻蚀液温度、及搅拌(stirring)之有无。定性而言,增加刻蚀温度与加入搅拌,均能有效提高刻蚀速率;但浓度之影响则较不明确。举例来说,以49%的HF刻蚀SiO2,江西材料刻蚀代工,当然比BOE(Buffered-Oxide-Etch;HF:NH4F=1:6)快的多;但40%的KOH刻蚀付淋凶和Si的速率却比20%KOH慢!湿刻蚀的配方选用是一项化学的,对于一般不是这方面的研究人员,必须向该化学的同侪请教。一个选用湿刻蚀配方的重要观念是(选择性)(selectivity),意指进行刻蚀时,对被蚀物去除速度与连带对其他材质(如刻蚀掩膜;etchingmask,或承载被加工薄膜之基板;substrate)的腐蚀速度之比值。一个具有高选择性的刻蚀系统,应该只对被加工薄膜有腐蚀作用,而不伤及一旁之刻蚀掩膜或其下的基板材料





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